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2019年我国三氟化氮职业市场需求结构、厂商竞赛格式剖析

发布时间:2022-02-09 15:59:10 来源:华体会体育官网 | 浏览:66

内容摘要:  )作为含氟特种气体的一类,常温下具有化学慵懒,高温下则比氧气更生动、比氟更安稳,且易于处理。   一般来说,三氟化氮首要用作等离子蚀刻气体和反响腔清洗剂,适用于半导体芯片、平板显现器、光纤、光伏

  )作为含氟特种气体的一类,常温下具有化学慵懒,高温下则比氧气更生动、比氟更安稳,且易于处理。

  一般来说,三氟化氮首要用作等离子蚀刻气体和反响腔清洗剂,适用于半导体芯片、平板显现器、光纤、光伏电池等制作范畴。和其他含氟电子气体比较,三氟化氮具有反响快、效率高的长处,特别在对氮化硅等含硅质料的蚀刻中,具有较高的蚀刻速率和选择性,并且对表面无污染,能够满意加工进程需求。

  另一方面,半导体工业中气体清洗剂的全氟烃(PFC)对环境有害,跟着环境要求的不断前进,PFCs的排放越来越受到重视。选用三氟化氮替代原有的原位氟碳化合物清洗,能够将三氟化氮等离子化,解离成氟离子或原子,()然后再让氟离子或原子进入CVD腔体清洗残留物,可削减污染物排放量约90%,一起显着前进清洗速度,显着改进清洗作用,前进清洗设备才能约30%。

  此外,三氟化氮可用作制备WF6的氟化剂,一起也可在火箭发射中作为氧化剂和推进剂运用。依据博思数据的计算,三氟化氮作为刻蚀剂和清洗剂的占比使用超越70%,而氟化剂、氧化剂、助燃剂的使用占比缺乏30%。

  三氟化氮的出产办法一般分直接化合法和氟化氢铵熔融盐电解法两种。其间,直接化合法不发生爆炸性气体,出产比较安全,但化学合成的进程不易控制,杂质含量较高,其工艺设备也较为杂乱;电解法所用设备出产成本低、产品收率高,但质料利用率相对较低。直接化合法和电解法各有优缺点,国内和日本的出产厂家大多选用电解法,而欧美国家则一般选用直接化合法。

  ——立鼎工业研讨中心发布的《2019年版我国三氟化氮职业展开现状及市场前景剖析陈述》研讨显现:长期以来,三氟化氮的出产和出售厂家会集在美国的空气产品和化学品公司、韩国SKM、日本的关东电化公司和三井化学公司等国外几家气体公司,但跟着国内市场的展开,以中船重工第718研讨所(简称718所)和拂晓化工研讨设计院(简称拂晓院)为代表的国内企业在技术水平上取得了显着的前进,逐步打破产品依托进口的局势,国产化率在稳步提高。

  现在,国内的三氟化氮产能首要会集在718所和拂晓院。其间,拂晓院是以化学推进剂及原资料研发为主业展开起来的综合性高新技术企业,在化学推进剂及原资料、聚氨酯新资料、含氟气体资料、过氧化氢及配套原资料四个专业范畴具有显着的科研优势。在含氟气体资料方面,拂晓院与与韩国大成工业气体株式会社(DIG)协作展开的三氟化氮项目,现有年产能达2000吨,凭仗技术优势及老练的出售途径,已成为仅次于718所(年产能6000吨)成为国内第二大三氟化氮供货商。

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